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本实用新型公开了一种大尺寸密封坩埚化学气相沉积热解炭工装，包括支撑石墨坩埚的支撑件，石墨坩埚连接有向石墨坩埚内导入气体和将气体导出石墨坩埚的导气机构，导气机构包括延伸至石墨坩埚内的进气管，进气管上设有使气体均匀进入石墨坩埚内和减缓石墨坩埚内...
该专利属于湖南泰坦未来科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南泰坦未来科技有限公司授权不得商用。

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