下载桨的安装结构及半导体加工炉的技术资料

文档序号:36875475

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本发明属于炉体密封技术领域,公开了一种桨的安装结构及半导体加工炉。该桨的安装结构包括移动模组、桨套机构以及桨。移动模组包括导轨和至少两个紧固机构,两个该紧固机构滑动连接于该导轨;桨套机构包括桨套本体和多个桨角度调节组件,两个该紧固机构沿该桨...
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