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本发明涉及一种晶圆检测运输托架及方法，包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿；在两侧的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间；晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器，传感器与晶圆夹持空间内的...
该专利属于江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。

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