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本实用新型公开了一种基于步进电机控制的翻转执行机构，涉及晶圆生产技术领域，包括底板和安装在底板上的翻转手臂，所述底板的正面固定安装有中空旋转机构，所述中空旋转机构的外侧分布有信号触发单元，所述中空旋转机构的转动端固定安装有气缸安装板，所述气...
该专利属于上海交震半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海交震半导体科技有限公司授权不得商用。

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