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一种石英坩埚喷涂箱制造技术
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文档序号:36833856
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本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂箱,包括工作台、设置于工作台上的密封罩壳和设置于密封罩壳上的喷涂装置,工作台上开设有弧形凹槽,弧形凹槽内设置有圆环状的承接块,工作台的内部开设有电机槽,且电机槽与弧形凹槽相连通,电机槽内设置有用于驱动承接块运...
该专利属于浙江美晶新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江美晶新材料有限公司授权不得商用。
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