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基板处理设备、基板处理装备、及基板处理方法技术
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文档序号:36820969
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本发明涉及一种基板处理设备、基板处理装备、及基板处理方法。一种用于处理基板的设备包括多个热处理腔室及多个传感器,所述多个传感器判定所述多个热处理腔室是否安装。所述多个传感器的数目对应于所述多个热处理腔室的数目。所述多个传感器是B型接触式传感...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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