下载一种用于程序升温脱附谱的样品台的技术资料

文档序号:36755583

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本发明属于样品表面化学探测技术领域,特别涉及一种用于程序升温脱附谱的样品台。包括超高真空腔体、直流电源、质谱仪、加热模块及降温模块,其中加热模块和降温模块均设置于超高真空腔体内;加热模块包括两个金属支撑件和连接在两个金属支撑件之间的发热板,...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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