下载屏蔽罩、分区屏蔽封装结构及方法的技术资料

文档序号:36746447

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本发明公开了一种屏蔽罩、分区屏蔽封装结构及方法。其中,屏蔽罩包括基板,基板由晶圆基材制成;金属层,溅射于基板的表面;多个金属凸柱,设置于金属层的预设位置,以共同围设成用于罩设待屏蔽芯片的罩设区域;其中,金属凸柱的轴线方向与基板的表面垂直。该...
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