下载一种用于半导体反应腔室的防护条的技术资料

文档序号:36673342

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本实用新型公开了一种用于半导体反应腔室的防护条,包括腔室本体,所述腔室本体的内部滑动连接有四个连接座,所述连接座上接触有固定座,所述固定座上固定连接有连接块,所述连接块上固定连接有防护片,所述防护片与连接座接触,所述连接座上接触有多个防护块...
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