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功率半导体器件和功率半导体器件的制造方法技术
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文档序号:36654851
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一种制造功率半导体器件(1)的方法(200),包括:提供(210)半导体本体(10);在半导体本体(10)处形成(220)多晶半导体区(141);在多晶半导体区(141)处形成(230)非晶子层;使非晶子层(142)经受(240)再结晶处理...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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