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本发明一个或多个实施例公开了一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；工艺槽组件包括槽体、设置于槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；加热控制器件在接收到控制系统发送的...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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