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本实用新型提供了一种晶圆吸附装置，包括：吸附环、抽气孔以及吸附孔；所述吸附环的轴向一端面作为吸附面，所述吸附环具有第一内腔；所述吸附孔开设于所述吸附面上并与所述第一内腔连通；所述抽气孔与所述第一内腔连通。本实用新型的吸附环的轴向一端面作为吸...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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