下载半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:36610108

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一种半导体结构包括基板、绝缘层、介电层、隔离层、导体以及上盖层。基板具有凹部。绝缘层位于基板的顶面上。介电层位于绝缘层上。隔离层位于凹部的表面上且延伸至绝缘层的侧壁。导体位于凹部中的隔离层上。导体具有第一顶面及第二顶面,第一顶面较第二顶面靠...
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