温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种热电发电器件及其制作方法，通过将P型热电柱及N型热电柱内嵌在基底的导通孔中，可形成无空心结构，提高热电发电器件的可靠性；P型热电柱及N型热电柱之间的间距可通过基底中的导通孔的间距进行控制，可便捷的实现高密度集成及小尺寸化的热电...
该专利属于上海烨映微电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海烨映微电子科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。