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多波长激光同轴微区原位剥蚀进样系统技术方案
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文档序号:36607392
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本发明公开了一种多波长激光同轴微区原位剥蚀进样系统,该系统的多波长激光器设有多个出光口,用于输出多路不同波长的激光;各出光口前均设有扩束镜,扩束后的多路激光经由分束镜或反射镜、分束镜后重合在同一条光轴上,并由聚焦镜进行聚焦;剥蚀池位于三维移...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。
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