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本发明公开一种压阻芯片批量测试装置及测试方法，测试装置包括真空组件、压力组件、检测组件、密封腔室以及位于密封腔室内的检测台；检测台，用于放置压阻晶圆，压阻晶圆包括多个压阻芯片；真空组件，用于给检测台提供负压以使压阻晶圆吸附在检测台上，以及给...
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