下载一种晶圆的搬运装置的技术资料

文档序号:36595850

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本实用新型公开了一种晶圆的搬运装置,涉及晶圆生产技术领域。晶圆上设置有多个屏幕,每个所述屏幕均对应设置有接线端,该搬运装置包括支撑平台、承载机构及压接机构。所述支撑平台设置有第一滑轨;承载机构滑动设置于所述第一滑轨,所述承载机构能够承载所述...
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