下载一种单晶炉用换热器及单晶炉的技术资料

文档序号:36592347

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本申请提供了一种单晶炉用换热器及单晶炉,其中,单晶炉用换热器包括螺旋盘管、供液管和排液管,螺旋盘管围成两端开口的容纳空间,容纳空间用于收容单晶硅棒;螺旋盘管由中空的冷却管沿同一轴向盘旋绕设形成;供液管沿所述螺旋盘管外侧设置并与螺旋盘管的底部...
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