下载高分子膜的剥离方法、电子器件的制造方法以及剥离装置的技术资料

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一种高分子膜的剥离方法,包括:准备形成有电路图案和/或功能元件的高分子膜与无机基板密合的层叠体的工序A;在层叠体的端部,在高分子膜与无机基板之间形成剥离部分的工序B;通过使无机基板向离开高分子膜的方向翘曲,将高分子膜保持在大致平面的状态下从...
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