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本申请提供了一种硅微针结构及制造方法，其中，硅微针结构具有从衬底(100)的主表面(102)突出的一个或多个微针(104)。微针具有在直立表面(108)和对应于(111)晶体平面的倾斜表面(110)之间的交接处形成的穿透尖端(106)。微针...
该专利属于纳诺帕斯技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳诺帕斯技术有限公司授权不得商用。

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