下载一种半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:36555315

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本发明公开了一种半导体器件的制造方法,涉及半导体技术领域,以简化CFET器件的制造流程,降低CFET器件的制造难度。所述半导体器件的制造方法包括:在半导体基底上依次形成隔离层和掺杂半导体层。掺杂半导体层各区域的掺杂类型和掺杂浓度均相同。重复...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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