下载一种基于叉指电极和双电层原理的气体压力传感器及制备方法的技术资料

文档序号:36549088

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本发明公开一种基于叉指电极和双电层原理的气体压力传感器及制备方法。属于先进电子元器件设计与制造技术领域。其中叉指电极、导线等均由金属材料沉积所得到;衬底层可选刚性材料或柔性材料,电解质层选择聚合物材料与小分子电解质混合形成的复合材料制成的薄...
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