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本发明公开一种使用垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件的基板热处理装置，本发明包括：工艺腔，用于放置待热处理的平板基板；以及照射模块，包括器件排列板以及子照射模块，用于向平板基板照射激光束，上述子照射模块放置于器件排列板的上部面，上述子照射...
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