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本实用新型公开了一种半导体光刻加工用防护装置，包括转管和辅助机构，转管的顶端设置有吸盘，吸盘的顶端开设有多个抽吸口，辅助机构包括橡胶环，吸盘的顶端开设有环形槽，橡胶环活动穿插设置于环形槽的内部，转管的外壁设置有转动机构，转动机构的上方设置有...
该专利属于无锡美译精密机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡美译精密机械科技有限公司授权不得商用。

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