下载压力传感器及压力传感器封装结构的技术资料

文档序号:36545655

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本实用新型提供了一种压力传感器及压力传感器封装结构,所述压力传感器包括力敏感体和基板,所述力敏感体包括力敏感膜以及力敏感体支持部,所述力敏感体与基板的第一表面之间形成力敏感体腔体;由于在所述力敏感体腔体中面向所述基板的第一表面设置有至少一个...
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