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一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件制造技术
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下载一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件的技术资料
文档序号:36543587
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本发明公开了一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件,包括DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列和砷化镓衬底,DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列分别置于砷化镓衬底上,利用晶圆键合技术将DFB激光器键合到砷化镓衬底上,确保D...
该专利属于无锡学院所有,仅供学习研究参考,未经过无锡学院授权不得商用。
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