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一种便于移动位置的晶圆搬运机制造技术
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下载一种便于移动位置的晶圆搬运机的技术资料
文档序号:36485776
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本实用新型公开了一种便于移动位置的晶圆搬运机,包括机体,所述机体的左侧设有刻蚀机,所述机体的右侧设有料箱,所述料箱的右侧设有箱门,所述料箱的内侧设有料架,所述机体的正面分别设有显微观测仪和显示屏,所述显示屏的背面设有调节机构,所述机体的下端...
该专利属于新启航半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新启航半导体有限公司授权不得商用。
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