下载导向结构以及输送装置的技术资料

文档序号:36480000

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本申请涉及半导体测试技术领域,提供了一种导向结构以及输送装置。该导向结构包括安装基座、光轴和至少两个滚动体:安装基座造有贯通的装配孔,光轴穿设于装配孔,且安装基座能够沿光轴的轴向相对光轴移动;至少两个滚动体沿装配孔的周向间隔布设,且每个滚动...
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