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应用于MEMS时钟的低功耗温度传感器制造技术
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下载应用于MEMS时钟的低功耗温度传感器的技术资料
文档序号:36449177
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本发明公开了一种应用于MEMS时钟的低功耗温度传感器,采用双极型晶体管与MOS管作为温感元件,通过Sigma
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该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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