下载制造磁阻随机存取存储器器件的方法的技术资料

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一种制造磁阻随机存取存储器(MRAM)器件的方法,包括:在衬底上形成绝缘中间层;形成延伸穿过绝缘中间层的接触插塞;形成覆盖接触插塞的上表面的第一阻挡层,第一阻挡层包括非晶材料;在第一阻挡层上形成下电极层;以及在下电极层上形成磁隧道结结构层。...
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