温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种MOCVD设备用石墨盘，包括盘主体，盘主体的顶部设有多个下陷，下陷围成一承载空间，晶圆片设于承载空间内；下陷包括底面以及自底面的边缘向上延伸的弧面侧壁及平面侧壁，弧面侧壁及平面侧壁衔接，承载空间由底面、弧面侧壁及平面侧壁围...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。