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本实用新型公开了一种炉管装置，包括：双层反应管，所述双层反应管设有内层反应管和罩于所述内层反应管外周上的外层反应管，所述内层反应管中用于放置垂直装载有多层产品的晶舟，所述外层反应管与所述内层反应管之间形成空腔，所述内层反应管的第一侧壁上纵向...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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