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本申请适用于电子光学实验技术领域，具体提供了一种电子光学测试平台装置，包括电子枪、真空腔室、衬管、载物盘；电子枪发生电子束；真空腔室处设置有物镜、电子束成像系统、电子束尺寸检测装置；衬管一端连接电子枪，衬管用于电子束通过，衬管另一端与真空腔...
该专利属于深圳国际量子研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳国际量子研究院授权不得商用。

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