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一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，所述系统包括温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；冷却管路上设有比例阀和换热器；换热器设置在激光放电腔内部，在冷却介质流动方向上，比例阀位于换热器前端；比例阀内部设有第一阀芯和第二阀芯，第一阀芯和第...
该专利属于深圳技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳技术大学授权不得商用。

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