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一种单晶硅炉导轨装置制造方法及图纸
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文档序号:36363781
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本实用新型提供一种单晶硅炉导轨装置。包括底座,所述底座的内部设有限位机构,所述限位机构包括通过轴承转动连接于底座内壁的丝杆,且丝杆的数量有两个,两个所述丝杆的一端均贯穿底座的内壁延伸至底座的外部键槽连接有带轮。本实用新型提供的一种单晶硅炉导...
该专利属于杭州中侨热处理有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中侨热处理有限公司授权不得商用。
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