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本发明公开了一种基于光学干涉法的真空检漏系统及方法。本发明首先通过光学检漏设备测量待测管路某部位的压力在一定时间内变化的值，然后利用算法软件将测量物理参数代入并计算模型，最后利用算法软件对测试获得的数据信息进行运算处理，找出管道泄漏位置及其...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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