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本发明涉及排风系统技术领域，具体涉及一种用于匀胶显影单元的排风系统及其控制方法，本发明能够提高匀胶显影单元工作过程中环境风压的稳定，解决多工位工作时无法保持恒压的技术问题，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，排风系统...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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