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本申请公开了一种管路气体清洗及快速回压装置,包括气动阀一、气体流量计一、挥发性气体瓶、气动阀二、气动阀三、气动阀四、浮子流量计、反应容器、真空泵和气体流量计二。本申请结构合理,通过增加危化氢气体旁路,达到管路清洗效果,增加旁路达到反应容器及...该专利属于天合光能(宿迁)光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天合光能(宿迁)光电有限公司授权不得商用。
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