温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种晶圆的缺陷模式识别方法、设备及存储介质。其方法包括：读取目标晶圆上缺陷晶片的坐标数据，坐标数据为用于绘制目标晶圆的晶圆图的数据；根据坐标数据的相邻关系确定多个连续缺陷晶片坐标集合，每个连续缺陷晶片坐标集合中的坐标数据与本连续缺...
该专利属于北京象帝先计算技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京象帝先计算技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。