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公开了包含发射器和接收器的光电探测器模块。集成平台基于通过平面Si衬底上的直接异质外延或通过电介质图案化Si衬底上的选择性区域异质外延在Si上异质外延CS材料和器件结构。在沉积CS器件结构之后，可以使用Si互补金属氧化物半导体(CMOS)制...
该专利属于艾鲁玛公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾鲁玛公司授权不得商用。

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