下载一种基于物理气相沉积技术的渐变镀膜设备的技术资料

文档序号:36230213

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本发明公开了一种基于物理气相沉积技术的渐变镀膜设备,涉及气相沉积镀膜技术领域,包括预处理组件、镀膜组件、渐变调控组件、输送单元、机台,预处理组件、镀膜组件和机台上表面紧固连接,输送单元依次穿过预处理组件、镀膜组件,渐变调控组件设置在镀膜组件...
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