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一种用于晶圆清洗的容纳盒制造技术
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下载一种用于晶圆清洗的容纳盒的技术资料
文档序号:36212884
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本实用新型提供一种用于晶圆清洗的容纳盒,涉及容纳盒技术领域,包括清洁盒体,清洁盒体的正面设有存取门,清洁盒体内部下方的中心位置处滑动设有放置架,放置架的内部上方和下方分别设有上限位件和下限位件,上限位件与下限位件对称设置,上限位件与下限位件...
该专利属于苏州珮凯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州珮凯科技有限公司授权不得商用。
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