下载一种实现温度梯度分布测量的传感器及制备方法的技术资料

文档序号:36211131

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本发明提供一种实现温度梯度分布测量的传感器及制备方法,其中,传感器包括:前端的针形温度测头和后端的焊盘区,所述传感器从下到上依次包括基底层和热电偶薄膜层;所述热电偶薄膜层包括分别作为正负极的单个第一热电偶薄膜和多个第二热电偶薄膜;第一热电偶...
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