下载一种可加热晶圆的蒸镀转锅的技术资料

文档序号:36202030

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本实用新型涉及金属镀膜装置技术领域,尤其涉及一种可加热晶圆的蒸镀转锅,包括转锅本体和固定座,固定座的一侧设置有动力组件,固定座的顶部具有凹槽,凹槽内设置有中空的悬挂座,悬挂座内设置有T形衬套,T形衬套的顶部设置有接头,T形衬套的底部与动力组...
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