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本发明实施例涉及测试滤材的系统与方法。本发明实施例提供一种用于测试超纯水中使用的滤材的系统及方法。用于测试用于从超纯水移除粒子的滤材的所述方法包括：提供带粒子的测试溶液；通过粒子计数器检测所述测试溶液中的所述粒子；使所述测试溶液通过滤材；以...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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