下载一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置的技术资料

文档序号:36184385

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本发明属于离子注入工艺装备技术领域,具体涉及一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置,包括:放卷传动装置、离子注入传动装置、收卷传动装置、沉积YBCO超导层金属带材、离子注入真空室、离子源、真空抽气口、放卷室真空室和收卷室真空室;所述离子...
该专利属于核工业西南物理研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

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