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从衬底移除刺激响应聚合物(SRP)包括受控降解。在本文所述的方法的一些实施方案中，移除SRP包括暴露于两种反应物，该两种反应物进行反应以形成可触发SRP降解的酸或碱。暴露按顺序进行以提供较精确的由上而下控制。在一些实施方案中，方法涉及将化合...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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