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本发明提供一种协同驱动的双步进粘滑驱动装置及方法，涉及微纳精密制造与控制技术领域，针对目前压电粘滑驱动器的输出位移中存在回退运动导致驱动效率低的问题，通过配置对称设置的两个摩擦头和两个驱动模块，协同驱动运动单元来抑制回退运动，并且摩擦头在抑...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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