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本公开实施例提供了一种蒸镀源设备，包括：蒸镀坩埚和隔热板；隔热板设置在蒸镀坩埚外部，包覆蒸镀坩埚；蒸镀坩埚包括：坩埚主体、坩埚盖、多个固定构件、多个喷嘴；坩埚盖设置在坩埚主体上，喷嘴设置在坩埚盖上，喷嘴与坩埚盖为分体结构，固定构件与喷嘴连接...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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