下载具有集成薄膜红外滤光器的图像传感器的技术资料

文档序号:3610132

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一种图像传感器,包括:    制作在半导体衬底中的多个像素,每个像素包含光敏元件;    制作在所述多个像素上的多层叠层,所述多层叠层适于滤除红外波段的入射光;    制作在所述多层叠层和所述光敏元件上的多个微透镜。...
该专利属于华微半导体(上海)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华微半导体(上海)有限责任公司授权不得商用。

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